中国电科（kē）旗下（xià）电科（kē）装备研（yán）制成功的离子注入机（jī）。中国电科（kē） 供图

　　中新网北（běi）京（jīng）3月17日电 (记者 孙（sūn）自（zì）法)记者17日从中国电子科技集团有限公司(中国电科（kē）)获悉，该集团旗（qí）下电科（kē）装（zhuāng）备已成功实（shí）现离子（zǐ）注入机（jī）全谱系（xì）产品（pǐn）国产（chǎn）化（huà），可（kě）为全（quán）球芯片制造企业提供离子（zǐ）注入机一站式解决方案。

　　中国（guó）电科介绍说（shuō），离（lí）子注入机是芯片制造中的关键装备。电科装（zhuāng）备连续突破大流强（qiáng）长寿命高品质离子源、高速晶圆传（chuán）输等“卡脖（bó）子”关键（jiàn）技术，自主研制出中束流、大束（shù）流、高能、特（tè）种应用及（jí）第三代半导（dǎo）体等（děng）离（lí）子注入机，工（gōng）艺段覆盖至（zhì）28纳米，已累计形成核心发明专利413项，实（shí）现（xiàn）中国芯片制造领域全谱系离子注（zhù）入机自（zì）主创新发展，将有效缓（huǎn）解中国（guó）芯片制（zhì）造领（lǐng）域断链、短链难题。

　　中国电（diàn）科表示，下一步，电（diàn）科装（zhuāng）备将瞄准高端（duān），紧跟先进工艺发展，加快（kuài）推进（jìn）适用于更先进工艺节（jiē）点离子（zǐ）注入机的研（yán）发及产业化。

　　据了解（jiě），中国电科是中国军工电子主力军、网（wǎng）信事业“国家队”、国家战略科技力量，拥有电子（zǐ）信息领域相对完备的科（kē）技（jì）创新体系。目前（qián），中国电科旗（qí）下包括47家国家级研究院所、11家上市公（gōng）司在内的企事（shì）业（yè）单位500余家，员工20余万（wàn）名，并（bìng）拥有35个国家级重点实验（yàn）室、研究中（zhōng）心和创新中心（xīn）。